精密小型真空磁控溅射仪器

精密小型真空磁控溅射仪器，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。

    产品特点：

    • 彩色触摸屏：数据输入简单快速

    • 通过触摸屏中直观检测数据和曲线；历史页面可显示历史涂层信息。

    • 可控镀膜速率，可得到更精细的晶粒结构

    • 可手动或自动，根据时间或根据厚度进行溅射

• 样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转；行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

精密小型真空磁控溅射仪器技术参数；