对于真空度有更高要求的用户,可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组,以满足测试要求。
为了减少泵组的振动,我们还专门为用户设计了隔振器,大程度地衰减泵组工作时产生的振动,以确保系统的稳定,减少探针的漂移。
配套了高精度PID温度控制器,用户可以清楚直观地了解了整体系统相关位置的温度情况,确保温度测试的可靠性。同时,200W 大功率直流输出,可让样品台快速从-196℃上升至400℃,较大地提供了温控效率,为用户节省大量宝贵的实验时间。由于系统中温控部件均为直流配置,也大大地减少了加热部件的干扰,提供了系统 的漏电精度
手动小型高低温探针台
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到350℃ | 高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 6061铝合金 可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离) | |
腔体抽气口 | KF16法兰(其余接口规格可转接) | |
腔体真空测量口 | KF16法兰(其余接口规格可转接) | |
腔体进气口 | 6mm快拧 或 6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟) |