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郑州科探仪器设备有限公司
主营：真空探针台,小型离子蒸镀仪,小型离子溅射仪 - 15136134901
郑州科探仪器设备有限公司
主营：真空探针台,小型离子蒸镀仪,小型离子溅射仪
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一、技术原理：
（1）小型蒸镀仪KT-Z1650CVD，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。
（2）通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史较悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。
二、真空度越高越不易氧化越接近金属本色：
★玻璃钟罩真空腔室，较直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；
★复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统（分子泵抽速≥400L/S）；
★两组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与**材料的蒸发源设计；
★专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；
★可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；
★衬底可选择加热或水冷，源基距≥300mm；
★可调速旋转靶台使薄膜更均匀；
★可沉积金属（Au,Ag,Al,Ca,Cu,Mg,Fe,Cr,Ni等）、非金属、化合物（MoO3,LiF等）及**物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；
★7寸显示器定时**调节电流，达到控制功率效果；
★具有记忆储存功能，直接调出已储存的数据进行镀膜达到同样工艺效果；
★配置了靶台挡板，可手动调节或自动调节挡板，及时遮挡样品，保证样品效果；
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜 115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟 115A 120秒 分子泵抽20分钟
四、小型蒸镀仪KT-Z1650CVD技术资料：
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
加热方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
较大输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转φ62 （较大可安装φ50基底） |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品蒸发源调节距离 | 70-140mm |
蒸发温度调节 | ≤1800℃ |
支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
可选配扩展 | 机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |