掌上真空探针台,一体式不锈钢腔体,手动调节探针,正面留有观察窗,反面留有透光孔。高低温配置
KT-Z4019MRL4T是一款便携式探针台,结构小巧,功能使用,成本较低,可以满足基本实验的要求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构,使得探针部分能从整个探针台系统中独立出来,可以应用于辐照实验中,该探针台也可放置高低温箱中,用于芯片的三温测试。多探针结构可实现多路测试。配合接地良好的铝制屏蔽盒,增加了抗干,扰,能力,其测试数据更加准确。
掌上真空探针台KT-Z4019MRL4T
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到350℃ | 高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 6061铝合金 可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离) | |
腔体抽气口 | KF16法兰(其余接口规格可转接) | |
腔体真空测量口 | KF16法兰(其余接口规格可转接) | |
腔体进气口 | 6mm快拧 或 6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟) | |