拥有一台 你在材料测试方面微型真空探针台
多功能 可扩展 显微镜热台 微型探针台
气敏湿敏探针台 拉曼光学测试台 热电探针台
光电探针台 非磁性霍尔效应探针台
测试腔体内部装有不锈钢加热承载台,台面为φ30,台面较高可升温到较高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针,特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达<5Pa分子泵可达<-3Pa。真空信号连接处使用真空电极信号接头,保证气密性及抗干扰性能。
使用时将需将待检测的器件方在加热台面,探针良好处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处,外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。